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La qualité d'un gaz pur se définit selon :

• Le niveau d'impuretés spécifiques gazeuses telles que O2, H2O, CO, CO2, CnHn qui se situe souvent à 0,1 ppm et même moins.

• Le nombre de particules solides ainsi que la nature de ces particules (Fe, Ni, Cu, Na, etc.)

• La précision très grande des mélanges, certaines analyses exigent une précision relative à 0,1% et même mieux.

• Des gaz rares très purs et exempts d'oxygène permettent d'obtenir un meilleur rendement pour les compteurs de particules.

• Inertage sous azote ou argon : Protection du produit contre l'oxydation ou l'humidité.

• Gaz vecteur en chromatographie gazeuse utilisant des détecteurs FID, TCD,ECD.

• Gaz vecteur en analyse utilisant des détecteurs à décharge haute fréquence (type contrôle analytique), ou détecteurs à ionisation d'argon ou d'hélium.

Fabrication des semi-conducteurs :

Il s'agit d'une application importante, La complexité des circuits intégrés et leur intégration de plus en plus poussée, liées Ã  des géométries de plus en plus fines, ont entraîné la nécessité d'un contrôle très rigoureux de la qualité des fluides utilisés lors de la fabrication. Il est reconnu que la présence de contamination gazeuse ou particulaire dans le gaz, si minime soit elle, entraîne une diminution sensible de la productivité. L'augmentation des rendements passe donc par l'introduction dans le réacteur de gaz répondant à une qualité définie, ce qui impose aux fabricants de semi-conducteurs non seulement de s'approvisionner en gaz ayant cette qualité, mais également de savoir le conserver entre le point de livraison (réservoir de liquide cryogénique) et le point d'utilisation.

Contrôle de la qualité des gaz purs :

La mesure de l'oxygène en tant qu'impureté à l'état de traces peut être réalisée suivant 2 techniques :

• La cellule électrochimique type "Micro fuel", dont la sensibilité reste limitée à une centaine de ppb O2.

• La cellule BDS " Bipotentiostat Driver Sensor " oxygène brevetée par Teledyne est conçue pour les mesures de 0 à 50ppb O2. Les autres impuretés gazeuses sont mesurées à l'aide d'un Plasma Simple Faisceau argon ou hélium, soit en continu pour l'azote, soit par séparation chromatographique pour les CnHn, CO, CO2, etc..